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TESCAN GAIA3 FIB-SEM双束电镜

  • 更新时间:  2019-10-11
  • 产品型号:  
  • 简单描述
  • TESCAN GAIA3 FIB-SEM双束电镜 是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台,它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量超薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、精确的纳米构图或高分辨率的三维重构。
详细介绍

GAIA3 是一款可以挑战纳米设计应用的理想平台,它同时具备高精度及微量分析能力。GAIA3 适用于高质量超薄 TEM 样品制备、在技术节点减少流程、精确的纳米构图或高分辨率的三维重构。
 

这些特征使得 GAIA3 成为低能电子束成像应用的理想工具,保留易受电子束损坏的样品的精细结构,如低介电常数材料、光阻材料及未涂覆生物样品。在样品改性方面,GAIA3 也代表了挑战纳米加工的最适合解决方案。

突出特点

Triglav™ - 新型超高分辨率 ( UHR ) 电子光学镜筒

  • TriLens™ 物镜系统:独特的电子束无交叉模式与超高分辨率物镜相结合
  • 具有多个 SE 及 BSE 探测器的先进探测系统
    • TriSE™ + TriBE™
  • Triglav™ - 低加速电压下的超高分辨率: 1 nm (1 kV ),0.7 nm (15 kV )
  • EquiPower™ 进一步提高电子束的稳定性
  • 电子束流高达 400 nA,并能实现电子束能量的快速改变
  • 优化的镜筒几何设计最大可容纳8”晶圆

 

                       江浙沪                                         川渝

                    


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