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蔡司manbext官网的光学系统该如何保养清洗呢?
浏览次数:308发布日期:2019-10-25
   蔡司manbext官网是表面微细结构观察快速有效的方法,对样品表面及横截面做微区放大观察及元件尺寸量测,放大倍率可达数十万倍,另加装的X光能谱散布分析仪则可以对微区材料做定性及半定量分析,对材料组成或异物成份分析有莫大的帮助。
  蔡司manbext官网分析应用
  1、对所有类型样品提供表面及横截面微细结构观察及分析。
  2、针对多层结构样品提供的膜厚量测及标示。
  3、藉由EDS的X光谱线分析对材料做定性及半定量分析或特定区域的点,线,面的成份分布分析。
  4、藉由低加速电压的电子束扫描做被动式电压对比,可侦测漏电或高阻值的位置,提供异常分析之判断。
  5、样品藉由层次去除技术提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图档,可以与光学显微镜生成的图档做纵向连结,提供电路还原逆向工程之参考。
  6、配合微光显微镜或光束引导热电子感应仪侦错,定位故障异常结构之位置,利用各种显微切割手术,进行精密解析,找出故障原因。
 

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  要想使用好蔡司manbext官网,清洗保养是必不可少的,下面我们来介绍蔡司manbext官网的电子光学系统清洗的一些原则性事项。
  蔡司manbext官网电子光学镜筒的某些部位可能会观察到有不同程度的污染迹象,例如电子枪亮度减低,电子透镜的象散加大,这需要操作者判断污染的部位和程度。拆卸这些部位,朝向电子束的任何表面可能都需要一次或多次清洗和抛光。清洁的电镜,电子束亮度zui高,图象信噪比较好,象散较小,象散器位置接近零位。
  1、清洗频率
  清洗蔡司manbext官网的频率取决于一系列因素及条件,其中包括:使用时间、样品种类、加速电压及电子束流等。
  每次更换灯丝时,栅帽、栅帽光阑固定圈都要清洗,不必清洗阳极和阳极帽。当见到明显的污染及图象象散过大时,就应清洗物镜光阑柄并用酒精灯烧物镜光阑或换新光阑。如果上述部位都已被清洗过,还有明显的污染和象散迹象,则应拆下衬管进行清洗。
  一般油扩散泵真空系统,每三个月就要彻底清洗一次。涡轮分子泵真空系统,正常使用,每年彻底清洗一次。
  2、清洗部位
  需要强调指出的是物镜下极靴孔,如想清洗,须由有经验的厂家维修工程师来清洗,若损伤物镜的表面或边缘将严重影响manbext官网的性能。在发现蔡司manbext官网有信号减弱和象散增大的迹象后,就要判断污染所在的地方。这由manbext官网的真空泵类型决定,一般由“70/20/10”规则判断。
  ①带有离子泵发射室的,当发现存在污染时,70%的几率是物镜光阑污染。20%的几率是电子枪需要清洗。10%的几率是镜筒衬管、物镜极靴或探测器。
  ②不带离子泵发射室的当发现存在污染时,70%出在电子枪区域。20%出在物镜光阑。10%为镜筒衬管、物镜极靴或探测器。
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